應用
· 半導體、平板顯示器和光伏行業
· 用于為半導體生產系統供應高純氣體
產品特性
· 高精度壓力測量0.15 % RSS
· **的長期穩定性
· 信號降噪和屏蔽
· 真空基準壓力測量
· 主動溫度補償
描述
可靠 WUD-2x系列高純傳感器將先進的傳感器理念與模擬輸出信號相結合，能夠為當前市場需求提供**、準確的壓力測量。 基于真正真空基準的壓力測量技術，加上帶干擾屏蔽及噪音消除的電子測量技術，確保了高精度壓力測量以及優異的長期穩定性。 主動溫度補償可降低溫度變化對傳感器的影響，即使在溫度變化很大的應用中仍然能夠**使用，如氣體膨脹時的焦耳湯姆遜效應。 WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器采用特別設計，可承受安裝帶來的扭曲應力。特殊的薄膜設計可消除過程連接或焊接接縫處的負載造成的傳感器失效風險。
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